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반도체 코팅 불량검출 시스템

관리자 | 2013.12.07 00:40 | 조회 3587
- 반도체의 코팅 불량검사, 검사항목으로 미코팅, 버블, 이물질을 검출
- 검출된 불량 영역의 넓이를 한계치로 설정 가능
- 검사결과는 PLC에 I/O board를 이용하여 전송



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