Vision시스템

반도체 웨이퍼 파티클 검사기

관리자 | 2013.12.07 00:38 | 조회 4895

- 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 장비 인출 시 웨이퍼에서 파티클을 찾아내는 장비
- 초당 20~30 frame으로 처리
- 웨이퍼에서 실제 패턴 부분은 제외한 나머지 부분에서 파티클을 검출하여 I/O신호로 전송
- 웨이퍼 인출시 센서를 이용하여 자동으로 감지
- 파티클의 크기를 um 단위로 설정가능
- 한 프레임의 파티클 제한 설정가능하며 n개의 프레임에 불량 프레임 수를 제한하여 설정가능

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vision
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