Vision시스템

LCD Mask 검사기 (LCD Photo Mask AOI)

관리자 | 2013.12.07 00:33 | 조회 7175
- LCD Photo Mask 원판에 대한 검사실시
- 최소 Defect 1um까지 검색 가능
- 0.1um 단위의 정확한 정밀도
- 빠른 동작 속도
- CAD도면 Loading하여 자동 정렬
- Repair 장비 지원
- 정확한 계측지원
- Review 지원



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